反渗透超纯水设备将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。
EDI组件中将少量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。
又在单元组两端设置阴/阳电极。
在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴、阳离子分别穿过阴、阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中除去。
而通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水。

反渗透超纯水设备一般以反渗透(RO)纯水作为EDI给水。
RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。
EDI纯水电阻率可以达18 MΩ.cm(25℃)，但是根据去离子水用途和系统配置设置，EDI纯水适用于制备电阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的纯水。

反渗透超纯水设备在生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等除去，水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术除去;水中的细菌，目前多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法除去;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。
在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

为达到用户生产工艺用水需求，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，增加设备的使用寿命、减少操作人员的维护工作量。
在工艺设计上，源水经多介质过滤器，活性碳过滤器，钠型阳离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）装置等。
系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，做到了无人职守，由PLC控制系统完成包括阻垢剂计量泵、高压泵、电动慢开门的顺序启动和停止；停运时反渗透装置的自动低压冲洗；运行过程中低压压力开关与系统的连锁运行；各转动设备的运行监测和报警等。

反渗透超纯水设备特点：

1.整体化程度高,易于扩展,增加膜数量就可增加处理量；
2.自动化程度高,遇故障自停,具有自动保护功能；
3.膜组件为复合膜卷制而成,表现出高的溶质分离率和透过速率；
4.水利用率高,运行成本低；
5.结构合理,占地面积少；
6.膜保护系统,在设备关机,淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净,增加膜寿命；
7.系统无易损部件,不需要大量维修,运行长期可行；

8.设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。